Perfluorobutadiene CAS: 685-63-2 C4F6 99.99% 4n Hight Purity for Semiconductor

Perfluorobutadiene CAS: 685-63-2 C4F6 99,99%

4n Hight Purity for Semiconductor

Penggunaan produk

Perfluorobutadiene (C ₄ F ₆ ) adalah semacam gas yang tidak berwarna, tidak berbau, dan tidak larut. Pada suhu dan tekanan normal, titik lelehnya adalah 132,0 ℃, titik didih adalah 5,9 ℃. Perfluorobutadiene adalah sejenis olefin terkonjugasi yang mengandung enam atom fluor dan dua ikatan rangkap karbon-karbon, sebagai semacam gas etsa yang sangat baik, karena rasio F/C yang unik, perfluorobutadiene memiliki selektivitas etsa yang lebih tinggi, akurasi dan rasio aspek daripada rasio daripada Gas etsa fluorokarbon jenuh perfluorasi tradisional, perfluorobutadiene dapat etsa kurang dari 100 nm bahkan sirkuit elektronik yang lebih sempit. Selain itu, C ₄ F ₆ memiliki rasio selektif yang lebih tinggi dari nitrida fotoresis dan silikon daripada C ₄ F ₈ , yang dapat meningkatkan stabilitas etsa, laju etsa dan keseragaman, dan dengan demikian meningkatkan kualitas produk.

Parameter produk

Aplikasi

Digunakan sebagai gas etsa untuk etsa plasma produk semikonduktor.

Pengemasan dan Penyimpanan

Perfluorobutadiene diisi dalam silinder baja dengan model B10, ukuran 14cm × 83cm, volume internal 10,1L, berat kotor 14,7kg, muatan 10kg. Spesifikasi pengemasan dapat disesuaikan sesuai dengan persyaratan pelanggan.

Shandong Zhongshan Electronic Material Co., Ltd. adalah perusahaan berteknologi tinggi nasional yang mengintegrasikan R&D, uji coba dan industrialisasi, dengan total investasi 1,3 miliar yuan. Pada tahun 2020. Ini telah secara inovatif mengembangkan baterai lithium karbon fluorida secara inovatif dan bahan utamanya, dan merupakan yang pertama untuk mencapai produksi besar-besaran bahan katoda karbon fluorida di Cina. Menghasilkan. Produk utama adalah baterai karbon fluorinasi lithium (BR), bahan fluorokarbon fungsional khusus (grafit berfluorinasi, bahan seri graphene berfluorinasi); bahan turunan grafit dan graphene, seri elektronik seri yang mengandung fluorin; Bahan seri Boron-11 yang digunakan dalam proses, bahan penyerap neutron Boron-10 dan bahan isotop stabil lainnya. Produk banyak digunakan dalam industri yang muncul strategis seperti chip sirkuit terintegrasi skala ultra-besar, baterai energi baru, perangkat semikonduktor baru, keamanan tenaga nuklir, pelumas (minyak), pelapis anti korosi dan anti-fouling, dan biomedicine.

Kategori Produk Bahan Proses Semikonduktor, Kami adalah produsen khusus dari Cina, harga gas khusus elektronik berfluorinat, pemasok pasar gas khusus elektronik yang mengandung fluorin, produk-produk berkualitas tinggi dari produsen bahan bahan kimia halus yang mengandung fluorine, dan pembuatan bahan kimia yang mengandung fluorine, dan pembuatan bahan kimia yang mengandung fluorine, dan pembuatan bahan kimia bahan kimia dan pembuatan fluorine, dan manufaktur, dan manufaktur, R&D, dan manufaktur fluorine, dan manufaktur, R&D, dan manufaktur, R&D. Kami memiliki layanan purna jual dan dukungan teknis yang sempurna. Nantikan kerja sama Anda!