Bahan etsa untuk sirkuit elektronik perfluorobutadiene

Perkenalan produk

Perfluorobutadiene (C4F6) adalah semacam gas yang tidak berwarna, tidak berbau, dan air yang tidak larut. Titik lelehnya adalah 132,0 ℃, titik didih adalah 5,9 ℃. Perfluorobutadiene adalah sejenis olefin terkonjugasi yang mengandung enam atom fluor dan dua ikatan rangkap karbon-karbon, sebagai semacam gas etsa yang sangat baik, karena rasio F/C yang unik, perfluorobutadiene memiliki selektivitas etsa yang lebih tinggi, akurasi dan rasio aspek daripada rasio daripada Gas etsa fluorokarbon jenuh perfluorasi tradisional, perfluorobutadiene dapat etsa kurang dari 100 nm bahkan sirkuit elektronik yang lebih sempit. Selain itu, C4F6 memiliki rasio selektif yang lebih tinggi dari fotoresis dan silikon nitrida daripada C4F8, yang dapat meningkatkan stabilitas etsa, laju etsa dan keseragaman, dan dengan demikian meningkatkan kualitas produk.

Spesifikasi kualitas

Aplikasi

Digunakan sebagai gas etsa untuk etsa plasma produk semikonduktor.

Pengemasan dan Penyimpanan

Perfluorobutadiene diisi dalam silinder baja dengan model B10, ukuran 14cm × 83cm, volume internal 10,1L, berat kotor 14,7kg, muatan 10kg. Spesifikasi pengemasan dapat disesuaikan sesuai dengan persyaratan pelanggan.