Trimethyl aluminium kemurnian tinggi

Trimethyl aluminium (TMA) adalah senyawa kimia dengan formula AL (CH3) 3. Ini adalah cairan tidak berwarna yang sangat mudah terbakar dan reaktif.

TMA digunakan sebagai prekursor dalam produksi berbagai bahan yang mengandung aluminium, seperti film tipis aluminium oksida, keramik, dan katalis. Ini juga digunakan dalam industri semikonduktor untuk deposisi film berbasis aluminium dalam manufaktur elektronik.

Namun, TMA sangat beracun dan harus ditangani dengan sangat hati -hati karena sifat piroforiknya dan kemampuannya untuk melepaskan gas beracun saat bersentuhan dengan udara atau air.