Halocarbon-41 metil fluoride

Fluoromethane , juga dikenal sebagai metil fluorida , Freon 41 , halokarbon-41 dan HFC-41 , adalah gas yang tidak beracun, cair, dan mudah terbakar pada suhu dan tekanan standar. Itu terbuat dari karbon , hidrogen , dan fluor . Namanya berasal dari fakta bahwa itu adalah metana (ch ₄ ) dengan atom fluor yang diganti untuk salah satu atom hidrogen.

Ini digunakan dalam pembuatan produk semikonduktor dan elektronik. Di hadapan bidang RF fluoromethane akan terdisosiasi menjadi ion fluoride yang secara selektif etsa film senyawa silikon ( etsa-ion reaktif ).